Многоканальный терморегулятор для установки выращивания полупроводниковых материалов предназначен для управления четырьмя установками выращивания полупроводниковых материалов с общим числом зон от 1 до 16.
Многоканальный терморегулятор для установки выращивания полупроводниковых материалов обеспечивает:
| Параметры | Значение |
| Количество каналов управления температурой зоны | от 1 до 16 |
| Диапазон регулируемых температур | от 30°С до 1300°С |
| Погрешность стабилизации температуры | ±1°С |
Напряжение питания:
|
220 В 36 В |
| Общая потребляемая мощность по 16 каналам не должна превышать | 8 кВт |
| Габаритные размеры | 550х400х1200 мм |