Многоканальный терморегулятор для установки выращивания полупроводниковых материалов предназначен для управления четырьмя установками выращивания полупроводниковых материалов с общим числом зон от 1 до 16.
Многоканальный терморегулятор для установки выращивания полупроводниковых материалов обеспечивает:
Параметры | Значение |
Количество каналов управления температурой зоны | от 1 до 16 |
Диапазон регулируемых температур | от 30°С до 1300°С |
Погрешность стабилизации температуры | ±1°С |
Напряжение питания:
|
220 В 36 В |
Общая потребляемая мощность по 16 каналам не должна превышать | 8 кВт |
Габаритные размеры | 550х400х1200 мм |